無變頻三維陣列等離子共振傳感器及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710351412.3 申請日 -
公開（公告）號 CN106959286A 公開（公告）日 2017-07-18
申請公布號 CN106959286A 申請公布日 2017-07-18
分類號 G01N21/59 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉鋼;許浩 申請（專利權(quán)）人 量準(zhǔn)（上海）實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金蓄專利代理有限公司 代理人 馬賀
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路388號新業(yè)大樓1號樓501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種無變頻三維陣列等離子共振傳感器，包括等離子共振基底，為納米結(jié)構(gòu)的空腔陣列，其上覆蓋多層材料結(jié)構(gòu)層，包括從下至上依次排布的第一金屬層、絕緣層和第二金屬層，該多層材料結(jié)構(gòu)層在基底內(nèi)形成內(nèi)嵌于所述等離子共振傳感器中的光學(xué)諧振腔陣列，所述光學(xué)諧振腔為錐形杯狀的空腔。解決了現(xiàn)有技術(shù)等離子共振傳感器檢測靈敏度有限，且裝置大型不便于攜帶的技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)了超靈敏、免標(biāo)記的生物分子檢測，為實(shí)現(xiàn)早期發(fā)現(xiàn)疾病生物標(biāo)記物的便攜式醫(yī)用生物傳感器的開提供基礎(chǔ)。