一種靜電除塵裝置及磁控濺射系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822167453.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209798088U 公開（公告）日 2019-12-17
申請公布號 CN209798088U 申請公布日 2019-12-17
分類號 C23C14/35;B08B6/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭漢鎮(zhèn) 申請（專利權(quán)）人 山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
地址 251200 山東省德州市(禹城)國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)振興大道漢能光伏產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種靜電除塵裝置及磁控濺射系統(tǒng),所述靜電除塵裝置設(shè)于磁控濺射的真空腔內(nèi)，包括靜電板、連接件、正電壓載體和負(fù)電壓載體；所述靜電板為絕緣板；所述連接件的兩端分別與所述真空腔的內(nèi)壁和所述靜電板連接；所述正電壓載體和所述負(fù)電壓載體分別貫穿所述絕緣板；所述正電壓載體和所述負(fù)電壓載體平行。所述靜電板的不同位置能夠帶不同電壓，對于芯片上帶正電荷或負(fù)電荷的灰塵顆粒會被相應(yīng)的異性電壓吸引，因此灰塵顆粒會被吸附于所述靜電板上，避免了所述芯片上灰塵顆粒的存在和影響，提高了芯片的脫模質(zhì)量，避免了高密度的維護(hù)，提高了生產(chǎn)效率，降低了成本投入。