一種自定位自動壓緊進電組件裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520517264.4 申請日 -
公開（公告）號 CN204982043U 公開（公告）日 2016-01-20
申請公布號 CN204982043U 申請公布日 2016-01-20
分類號 C23C16/44(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 智海龍 申請（專利權(quán)）人 山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
代理機構(gòu) 濟南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 山東禹城漢能薄膜太陽能有限公司
地址 251200 山東省德州市禹城市高新區(qū)振興大道漢能光伏產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種自定位自動壓緊進電組件裝置。本一種自定位自動壓緊進電組件裝置，包括：進電組件保護機構(gòu)，其包括套設(shè)并固定于進電組件上的可在進電組件作業(yè)過程中對進電組件起到杜絕應(yīng)力集中進而360度保護的喇叭口卡槽；其包括錐形六角緊固電極頭、錐形電極母頭、安裝于電極桿上的屏蔽管和套設(shè)于屏蔽管上的可使進電組件自動定位同時方便查看錐形六角緊固電極頭狀況的定位喇叭口鎖座，錐形電極母頭由錐面自動定位連接錐形六角緊固電極頭；自動壓緊進電組件機構(gòu)，其為在PECVD工序中工件架進入沉積爐移動到位的同時使進電組件自動壓緊、工藝結(jié)束出爐時工件架離開沉積爐限位的同時使進電組件自動松開的杠桿自動壓緊機構(gòu)。