一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520517264.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204982043U 公開(kāi)（公告）日 2016-01-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN204982043U 申請(qǐng)公布日 2016-01-20
分類(lèi)號(hào) C23C16/44(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 智海龍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東禹城漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南泉城專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 山東禹城漢能薄膜太陽(yáng)能有限公司
地址 251200 山東省德州市禹城市高新區(qū)振興大道漢能光伏產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置。本一種自定位自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件裝置，包括：進(jìn)電組件保護(hù)機(jī)構(gòu)，其包括套設(shè)并固定于進(jìn)電組件上的可在進(jìn)電組件作業(yè)過(guò)程中對(duì)進(jìn)電組件起到杜絕應(yīng)力集中進(jìn)而360度保護(hù)的喇叭口卡槽；其包括錐形六角緊固電極頭、錐形電極母頭、安裝于電極桿上的屏蔽管和套設(shè)于屏蔽管上的可使進(jìn)電組件自動(dòng)定位同時(shí)方便查看錐形六角緊固電極頭狀況的定位喇叭口鎖座，錐形電極母頭由錐面自動(dòng)定位連接錐形六角緊固電極頭；自動(dòng)壓緊進(jìn)電組件機(jī)構(gòu)，其為在PECVD工序中工件架進(jìn)入沉積爐移動(dòng)到位的同時(shí)使進(jìn)電組件自動(dòng)壓緊、工藝結(jié)束出爐時(shí)工件架離開(kāi)沉積爐限位的同時(shí)使進(jìn)電組件自動(dòng)松開(kāi)的杠桿自動(dòng)壓緊機(jī)構(gòu)。