一種低應(yīng)力MEMS慣性傳感器測試夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920995788.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210036751U 公開（公告）日 2020-02-07
申請公布號 CN210036751U 申請公布日 2020-02-07
分類號 G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳首任;王雪峰;劉楊;付朝輝;喻偉;張廣平 申請（專利權(quán)）人 成都華托微納智能傳感科技有限公司
代理機構(gòu) 北京中索知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都華托微納智能傳感科技有限公司
地址 610000 四川省成都市雙流區(qū)公興街道貨運大道868號倉儲橫一路88號附3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種低應(yīng)力MEMS慣性傳感器測試夾具，包括固定板和測試底板；固定板中部設(shè)有用于放置并限位固定待測MEMS慣性傳感器的貫穿固定板厚度方向的容納腔；測試底板設(shè)有安裝通孔，安裝通孔內(nèi)設(shè)有雙頭彈簧測試探針針頭，探針一頭凸出于測試底板上表面，另一頭凸出于測試底板下表面，測試底板下表面的探針針頭用于與測試電路板連接，所有測試底板上表面的針頭位于容納腔范圍內(nèi)；固定板和測試底板疊合并通過異方性導電膠膜粘合連接，異方性導電膠膜覆蓋所有凸出于測試底板上表面的針頭。通過本實用新型，既能保證MEMS慣性傳感器與測試電路板之間穩(wěn)定的電連接，又能通過異方性導電膠膜的粘性固定MEMS慣性傳感器而不對其施加壓力，使測試結(jié)果更真實。