一種可控壓力的MEMS慣性傳感器測(cè)試夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920995739.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210036750U 公開(kāi)（公告）日 2020-02-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN210036750U 申請(qǐng)公布日 2020-02-07
分類號(hào) G01C25/00;G01R1/04;G01R31/28 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳首任;王雪峰;劉楊;付朝輝;喻偉;張廣平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都華托微納智能傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都華托微納智能傳感科技有限公司
地址 610000 四川省成都市雙流區(qū)公興街道貨運(yùn)大道868號(hào)倉(cāng)儲(chǔ)橫一路88號(hào)附3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可控壓力的MEMS慣性傳感器測(cè)試夾具，包括測(cè)試底板、中間板和上層蓋板；所述測(cè)試底板設(shè)有安裝通孔，安裝通孔內(nèi)設(shè)有雙頭彈簧測(cè)試探針針頭，探針一頭凸出于測(cè)試底板上表面，探針另一頭凸出于測(cè)試底板下表面；所述中間板設(shè)有用于放置并限位固定待測(cè)MEMS慣性傳感器的貫穿中間板厚度方向的容納腔，所有測(cè)試底板上表面的測(cè)試探針針頭位于容納腔范圍內(nèi)，中間板的厚度小于待測(cè)MEMS慣性傳感器的厚度；測(cè)試底板、中間板和上層蓋板三者疊合放置并采用至少兩個(gè)螺釘連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，能夠調(diào)控對(duì)MEMS慣性傳感器的壓力，針對(duì)不同MEMS慣性傳感器采用不同的測(cè)試壓力，以達(dá)到MEMS慣性傳感器的最優(yōu)性能，使得測(cè)試結(jié)果更準(zhǔn)確。