一種電容式MEMS加速度計(jì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021037658.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212031528U | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212031528U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號(hào) | G01P15/125(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張廣平;白龍;劉楊;陳首任;萬育彰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都華托微納智能傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中索知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 成都華托微納智能傳感科技有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市中國(guó)（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)公興街道貨運(yùn)大道868號(hào)倉儲(chǔ)橫一路88號(hào)附3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種電容式MEMS加速度計(jì)，包括第一固定部，第二固定部，質(zhì)量塊，支撐梁，固定框架；所述第一固定部和第二固定部上分別設(shè)有的多塊第一定極板和第二定極板與質(zhì)量塊上設(shè)有的可動(dòng)極板平行交叉排列；所述第一定極板與可動(dòng)極板形成電容器C1，第二定極板與可動(dòng)極板形成電容器C2；所述第一定極板，第二定極板，可動(dòng)極板上均設(shè)有刻蝕孔；所述質(zhì)量塊右端通過支撐梁與固定框架相連接。本實(shí)用新型通過在加速度計(jì)電容極板上設(shè)計(jì)一系列的刻蝕孔，使電容極板形成桁架結(jié)構(gòu)，很大程度上提高了極板剛度，降低了極板因?yàn)榧眲〖铀俣刃盘?hào)而粘附或損壞的風(fēng)險(xiǎn)，具有極低的機(jī)械噪聲，廣闊的使用前景。?? |
