材料表面霧的檢測方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110706036.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113503840A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113503840A 申請公布日 2021-10-15
分類號 G01B11/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高偉;劉宇;王志珍;李海淼 申請（專利權(quán)）人 北京通美晶體技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京北翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鐘守期;李慧
地址 101113北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)東二街四號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種檢測材料表面霧的方法，包括以下步驟：任選地初檢：對材料進行初檢，獲得表面無目視可見缺陷的材料；和表面霧檢測：檢測材料的表面霧；其中，在表面霧檢測設(shè)備中，在接收光路中通過光學(xué)過濾器模組過濾掉所述材料的光致發(fā)光信號，使其不被探測器檢測到。本發(fā)明還提供一種檢測材料表面霧裝置。本發(fā)明的檢測表面霧的方法和裝置，過濾掉了不期望的材料光致發(fā)光信號，從而能夠更準(zhǔn)確地獲得材料表面霧檢測結(jié)果。