材料表面霧的檢測(cè)方法和裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110706036.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113503840A 公開(kāi)(公告)日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN113503840A 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類(lèi)號(hào) G01B11/30(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 高偉;劉宇;王志珍;李海淼 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 北京通美晶體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鐘守期;李慧
地址 101113北京市通州區(qū)工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)東二街四號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種檢測(cè)材料表面霧的方法,包括以下步驟:任選地初檢:對(duì)材料進(jìn)行初檢,獲得表面無(wú)目視可見(jiàn)缺陷的材料;和表面霧檢測(cè):檢測(cè)材料的表面霧;其中,在表面霧檢測(cè)設(shè)備中,在接收光路中通過(guò)光學(xué)過(guò)濾器模組過(guò)濾掉所述材料的光致發(fā)光信號(hào),使其不被探測(cè)器檢測(cè)到。本發(fā)明還提供一種檢測(cè)材料表面霧裝置。本發(fā)明的檢測(cè)表面霧的方法和裝置,過(guò)濾掉了不期望的材料光致發(fā)光信號(hào),從而能夠更準(zhǔn)確地獲得材料表面霧檢測(cè)結(jié)果。