材料表面霧的檢測(cè)方法和裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110706036.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN113503840A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-10-15 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113503840A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-15 |
分類(lèi)號(hào) | G01B11/30(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 高偉;劉宇;王志珍;李海淼 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 北京通美晶體技術(shù)股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 鐘守期;李慧 |
地址 | 101113北京市通州區(qū)工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)東二街四號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供一種檢測(cè)材料表面霧的方法,包括以下步驟:任選地初檢:對(duì)材料進(jìn)行初檢,獲得表面無(wú)目視可見(jiàn)缺陷的材料;和表面霧檢測(cè):檢測(cè)材料的表面霧;其中,在表面霧檢測(cè)設(shè)備中,在接收光路中通過(guò)光學(xué)過(guò)濾器模組過(guò)濾掉所述材料的光致發(fā)光信號(hào),使其不被探測(cè)器檢測(cè)到。本發(fā)明還提供一種檢測(cè)材料表面霧裝置。本發(fā)明的檢測(cè)表面霧的方法和裝置,過(guò)濾掉了不期望的材料光致發(fā)光信號(hào),從而能夠更準(zhǔn)確地獲得材料表面霧檢測(cè)結(jié)果。 |
