垂直芯片表面發(fā)射激光器及其一維和二維陣列

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020081085.1 申請日 -
公開(公告)號 CN211719953U 公開(公告)日 2020-10-20
申請公布號 CN211719953U 申請公布日 2020-10-20
分類號 H01S5/183(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱頌義;王元立 申請(專利權(quán))人 北京通美晶體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京通美晶體技術(shù)有限公司
地址 101113北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)東二街四號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了垂直芯片表面發(fā)射激光器,其包括:基片,具有承置面和與承置面成45度角的反射面;以及邊發(fā)射激光器芯片,布置在基片的承置面上。邊發(fā)射激光器芯片被定位成邊發(fā)射激光器芯片的發(fā)射端朝向反射面且發(fā)射端發(fā)射出平行于承置面的激光束,激光束的方向與承置面和反射面的交線垂直。本實用新型還提供垂直芯片表面發(fā)射激光器的一維陣列和二維陣列。本實用新型通過在具有45度反射面的散熱基片上設(shè)置邊發(fā)射激光器實現(xiàn)了邊發(fā)射激光器到垂直芯片表面發(fā)射激光器的轉(zhuǎn)化,并且實現(xiàn)了垂直表面發(fā)射激光器的一維和二維陣列。與垂直腔面發(fā)射激光器相比,這種垂直芯片表面發(fā)射激光器件結(jié)構(gòu)簡單、制造工藝成熟,從而加工成本更低、產(chǎn)品可靠性更高。??