用于半導(dǎo)體晶棒腐蝕的籃具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120098954.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214422783U 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214422783U 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) C30B33/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 洪慶福;王元立;韓東;高偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京通美晶體技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李英偉;鄭建暉
地址 101113北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)東二街四號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體晶棒腐蝕的籃具，該籃具包括：一個(gè)底板；相對(duì)布置的兩個(gè)端板，所述端板連接至所述底板，位于所述底板相對(duì)的兩端，且所述端板設(shè)置有定位孔；相對(duì)布置的兩個(gè)側(cè)板，所述側(cè)板連接至所述底板、分別在所述端板之間延伸，且所述側(cè)板分別設(shè)置有滑槽，所述滑槽對(duì)稱布置且沿水平方向延伸；以及一個(gè)可移動(dòng)擋板，所述可移動(dòng)擋板在兩個(gè)側(cè)板之間延伸并且與所述底板間隔開，其中所述可移動(dòng)擋板設(shè)置有安裝至所述滑槽的凸耳，使得所述可移動(dòng)擋板能夠沿所述滑槽移動(dòng)，并且所述可移動(dòng)擋板還設(shè)置有用于接收晶棒的一端的安置部，其中，所述定位孔和所述安置部用于共同保持所述晶棒。