一種晶片的原子臺(tái)階的寬度計(jì)算裝置、方法、設(shè)備及介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110896139.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113594057A 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113594057A 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張九陽(yáng);舒天宇;盧仁貴;王永方;李霞;張紅巖;高超;梁云碩;張禹亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 董延麗
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號(hào)10幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本說(shuō)明書(shū)實(shí)施例公開(kāi)了一種晶片的原子臺(tái)階的寬度計(jì)算裝置、方法、設(shè)備及介質(zhì)，裝置包括：圖像獲取單元，用于在原子臺(tái)階均勻平行分布的區(qū)域內(nèi)，確定晶片的測(cè)試范圍，獲取測(cè)試范圍內(nèi)的晶片對(duì)應(yīng)的原子臺(tái)階原始圖像；圖像處理單元，用于對(duì)原子臺(tái)階原始圖像進(jìn)行灰度處理，確定原子臺(tái)階灰度圖像，并根據(jù)預(yù)設(shè)方式以及原子臺(tái)階灰度圖像，確定出符合要求的波形圖；計(jì)算單元，用于根據(jù)符合要求的波形圖中的波峰之間或波谷之間的距離與原子臺(tái)階灰度圖像的尺寸，計(jì)算原子臺(tái)階的寬度，節(jié)省了人工測(cè)算的人力、物力，避免了人工計(jì)算寬度產(chǎn)生的測(cè)量誤差，可以通過(guò)程序?qū)崿F(xiàn)，節(jié)約計(jì)算時(shí)間，不會(huì)引入人工測(cè)算主觀誤差。