一種長晶爐用升降系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120741651.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215593246U 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN215593246U 申請公布日 2022-01-21
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉丙洋;楊振魯;袁祥瑞;張開端;陰法波 申請（專利權(quán)）人 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 馮委
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號10幢301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種長晶爐用升降系統(tǒng)，所述升降系統(tǒng)包括升降執(zhí)行裝置和升降臺，所述升降臺與所述升降執(zhí)行裝置傳動設(shè)置，所述升降臺受所述升降執(zhí)行裝置驅(qū)動，在所述升降執(zhí)行裝置的驅(qū)動下使所述升降臺按設(shè)定路徑執(zhí)行升降動作；所述升降系統(tǒng)還包括鎖止單元，當(dāng)所述升降臺的運動速率大于設(shè)定的速度時，所述鎖止單元將所述升降臺鎖止于所述升降執(zhí)行裝置上。本申請所公開長晶爐用升降系統(tǒng)具有發(fā)生故障時將所述升降臺進行鎖止功能，具有安全、可靠、自動化程度高等優(yōu)點。