一種用于評(píng)價(jià)坩堝內(nèi)原料裝配均勻性的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120741787.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215004810U | 公開（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215004810U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-03 |
| 分類號(hào) | G01N5/00（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 方帥;趙建國(guó);趙樹春;李博 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮妙娜 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號(hào)10幢301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開了一種用于評(píng)價(jià)坩堝內(nèi)原料裝配均勻性的裝置，其包括：機(jī)架，所述機(jī)架的底壁上設(shè)置有支撐桿，所述支撐桿上方設(shè)置有支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)與所述支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接或所述支撐臺(tái)與所述機(jī)架的底壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述支撐臺(tái)用于放置坩堝，所述坩堝、所述支撐臺(tái)及所述支撐桿共中心軸線設(shè)置；測(cè)試組件，所述測(cè)試組件包括至少三個(gè)測(cè)試計(jì)，每個(gè)所述測(cè)試計(jì)位于同一水平高度上，并沿所述坩堝周向分布，所述測(cè)試計(jì)的一端連接在所述機(jī)架的內(nèi)側(cè)壁上，另一端能夠接觸到所述坩堝的外側(cè)壁；或測(cè)試組件，所述測(cè)試組件包括至少三個(gè)沿所述支撐桿周向分布的測(cè)試計(jì)，所述測(cè)試計(jì)的一端連接在所述機(jī)架的底壁上，另一端能夠接觸到所述支撐臺(tái)的下表面。 |
