一種坩堝夾持裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120780540.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214572358U | 公開（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214572358U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-02 |
| 分類號(hào) | C30B23/00（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 郭德華;蘇麗娜;劉圓圓;周敏;趙吉強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京君慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 馮妙娜 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)鴻音路1211號(hào)10幢301室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開了一種坩堝夾持裝置，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。該坩堝夾持裝置包括：提升組件，所述提升組件包括升降臺(tái)和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過連接軸與升降臺(tái)連接；夾持組件，所述夾持組件包括環(huán)形軸和若干個(gè)夾持臂，每個(gè)所述夾持臂的固定端均與所述升降臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，每個(gè)所述夾持臂上設(shè)置有環(huán)形軸穿過的軸孔若干個(gè)所述夾持臂的自由端相互配合，用于夾持坩堝；所述升降臺(tái)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)每個(gè)所述夾持臂的固定端與所述升降臺(tái)發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)每個(gè)所述夾持臂的自由端靠近或遠(yuǎn)離所述坩堝。該坩堝夾持裝置使操作者單手夾持不同尺寸的坩堝，實(shí)現(xiàn)對(duì)高溫坩堝的取放，此外，可避免人工直接接觸坩堝而對(duì)坩堝造成污染，大大提高了生產(chǎn)效率，節(jié)約了生產(chǎn)成本。 |
