一種擴(kuò)散爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720976205.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207193438U 公開(kāi)（公告）日 2018-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN207193438U 申請(qǐng)公布日 2018-04-06
分類號(hào) C30B31/06;H01L31/18 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 崔紅星 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 九江盛朝欣業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紐樂(lè)康知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王珂
地址 332000 江西省九江市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)城西港區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種擴(kuò)散爐，包括爐體，所述爐體的爐口下方設(shè)有用于接住爐口流出的偏磷酸的托盤，所述爐體內(nèi)設(shè)有鉤子；所述爐體的尾部中間連接有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的外端設(shè)置有進(jìn)氣管球頭，所述爐體的尾部下方設(shè)置有排氣管，所述排氣管的外端設(shè)有排氣管球頭，所述排氣管內(nèi)靠近爐體處設(shè)有溫度傳感器，所述的溫度傳感器與外部的顯示器連接。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置鉤子可以刮出爐體內(nèi)的偏磷酸，減少其對(duì)爐體內(nèi)部的腐蝕；另外，本實(shí)用新型的進(jìn)氣管設(shè)置在爐體尾部中部，因此偏磷酸并不會(huì)腐蝕進(jìn)氣管，能夠提高擴(kuò)散爐的使用壽命。