一種光電器件的排氣激活方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310321644.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103367078B 公開(kāi)（公告）日 2015-10-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN103367078B 申請(qǐng)公布日 2015-10-28
分類號(hào) H01J9/385(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周榮楣;方莉;江秋玲;王浩東;尚秋輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京三樂(lè)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 楊海軍
地址 211800 江蘇省南京市浦口經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)光明路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種光電器件的排氣激活方法，本發(fā)明通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)篩選高壓放電去毛刺工藝，蒸銻處理工藝，引鉀激活和引銫激活的工藝，尤其是對(duì)倍增區(qū)和陰極區(qū)采用不同溫度進(jìn)行排除堿金屬工藝，整個(gè)工藝可操作性強(qiáng)，能最大限度排除光電器件內(nèi)的多余堿金屬蒸汽，降低光電倍增管的暗電流，提高光電器件性能和質(zhì)量；制備得到的光電器件質(zhì)量高，性能優(yōu)，穩(wěn)定性好，實(shí)用性強(qiáng)。