一種復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920077298.0 申請日 -
公開（公告）號 CN201459237U 公開（公告）日 2010-05-12
申請公布號 CN201459237U 申請公布日 2010-05-12
分類號 C23C16/44(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王季陶 申請（專利權(quán)）人 上海企諾電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200433 上海市國福路30弄5號502室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于高新技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種復(fù)合材料的原子層淀積反應(yīng)器。包括玻璃或不銹鋼的反應(yīng)外管，內(nèi)部的若干玻璃和不銹鋼混合組成或全不銹鋼組成的固態(tài)源進(jìn)氣管，復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管等部件。過去反應(yīng)管采用玻璃或石英制作，結(jié)構(gòu)比較脆弱，本實(shí)用新型采用復(fù)合材料的優(yōu)點(diǎn)是：易損部件用不銹鋼材料后，堅(jiān)固耐用，而且精度高。特別是固態(tài)源進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)細(xì)長脆弱，采用玻璃或石英制作極易損壞。本實(shí)用新型采用不銹鋼材料制作固態(tài)源進(jìn)氣管后效果非常顯著；復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管采用不銹鋼毛細(xì)管和外層的聚四氟乙烯等塑料組成，氣流控制精度非常高，無對外泄漏，堅(jiān)固耐用。