一種干式刻蝕機的晶片托盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620502805.0 申請日 -
公開（公告）號 CN205789912U 公開（公告）日 2016-12-07
申請公布號 CN205789912U 申請公布日 2016-12-07
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 竺平軍 申請（專利權(quán)）人 浙江優(yōu)眾新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 316000 浙江省舟山市定海區(qū)岑港街道塢坵社區(qū)豐園路15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種干式刻蝕機的晶片托盤，屬于刻蝕機技術(shù)領(lǐng)域，包括第二滑軌、控制器、支桿、第二滑塊、第三氣缸、夾槽、第一滑軌、第一氣缸、第二氣缸、第一滑塊、第一夾板、氦氣供給管、卡槽、底臺、第一抵板、第二抵板、第二夾板和第四氣缸，所述底臺上安裝卡槽，底臺和卡槽上均安裝氦氣供給管，卡槽左右兩側(cè)各安裝夾槽，夾槽內(nèi)安裝第一滑軌，第一滑軌上安裝第一滑塊，第一滑塊右側(cè)安裝第一夾板，第二氣缸安裝在卡槽內(nèi)，第二氣缸的活塞桿與第一夾板相連，卡槽內(nèi)安裝第一氣缸，第一夾板設(shè)有第一小洞；本實用新型的優(yōu)點是：能使氣體順利流動。