一種半導(dǎo)體制造用的機(jī)械手臂

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021289826.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213054822U 公開（公告）日 2021-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213054822U 申請(qǐng)公布日 2021-04-27
分類號(hào) B25J9/02 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 王鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江優(yōu)眾新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波市鄞州盛飛專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王銀炯
地址 316000 浙江省舟山市定海區(qū)定海工業(yè)園區(qū)創(chuàng)園大道10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體制造用的機(jī)械手臂，包括有底座和設(shè)在底座頂部的升降裝置，升降裝置滑動(dòng)連接有夾持組件，夾持組件包括有安裝板和第一絲桿，第一絲桿與安裝板固定連接，第一絲桿連接有夾爪裝置，每一夾爪裝置包括有滑動(dòng)板、夾爪和螺母，滑動(dòng)板與安裝板滑動(dòng)連接，滑動(dòng)板通過螺母與第一絲桿螺旋連接，滑動(dòng)板設(shè)有第一電機(jī)，第一電機(jī)連接有主動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪嚙合連接有從動(dòng)齒輪，從動(dòng)齒輪與螺母固定連接；本實(shí)用新型由第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使得螺母在絲桿外壁上下滑動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)夾爪上下滑動(dòng)，每一夾爪都由一個(gè)對(duì)應(yīng)的第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)，使得各夾爪之間的間距可任意調(diào)節(jié)。