壓電式加速度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420587574.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204129068U 公開(kāi)（公告）日 2015-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN204129068U 申請(qǐng)公布日 2015-01-28
分類號(hào) G01P15/09(2006.01)I;G01P15/097(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李祥明;李忠平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海天英微系統(tǒng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海天英微系統(tǒng)科技有限公司
地址 200120 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)郭守敬路351號(hào)2號(hào)樓A635-15室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種壓電式加速度傳感器，包括依次設(shè)置的支撐層、振膜層及壓電薄膜層，所述支撐層具有一窗口，所述窗口暴露出部分所述振膜層，以使部分所述振膜層懸空，在具有加速度信號(hào)時(shí)，懸空的振膜層產(chǎn)生形變，所述振膜層的形變帶動(dòng)所述壓電薄膜層產(chǎn)生形變，所述壓電薄膜層背向和朝向所述振膜層的表面分別設(shè)置有上電極及下電極，以將所述壓電薄膜層形變產(chǎn)生的電信號(hào)傳遞給外部測(cè)量裝置。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于，壓電薄膜層為一連續(xù)的整體，使得壓電薄膜層在全范圍內(nèi)響應(yīng)振膜層的形變，擴(kuò)大了壓電式加速度傳感器的量程；提高壓電式加速度傳感器的抗高過(guò)載性；可大大提高壓電式加速度傳感器的靈敏度。