抗高過載的壓電加速度傳感器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410534975.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104280568A 公開（公告）日 2015-01-14
申請公布號 CN104280568A 申請公布日 2015-01-14
分類號 G01P15/09(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李祥明;李忠平 申請（專利權）人 上海天英微系統(tǒng)科技有限公司
代理機構 上海翼勝專利商標事務所（普通合伙） 代理人 上海天英微系統(tǒng)科技有限公司
地址 200120 上海市浦東新區(qū)張江高科園區(qū)郭守敬路351號2號樓A635-15室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種抗高過載的壓電加速度傳感器及其制作方法，所述壓電加速度傳感器包括支撐層及壓電層，所述壓電層朝向所述支撐層的一側制作溝槽，以形成朝向支撐層的支撐塊及質量塊，所述支撐塊用于與所述支撐層連接，以將所述壓電層固定，所述支撐塊與所述質量塊之間通過一懸臂梁連接，所述質量塊將加速度信號傳遞給所述懸臂梁，以使所述懸臂梁產生形變，所述懸臂梁的上下兩側設置有上電極及下電極，以將所述懸臂梁形變產生的電信號傳遞給外部測量裝置。本發(fā)明的優(yōu)點在于，能夠提高壓電加速度傳感器的抗高過載性能。