金屬TCO疊層薄膜及其制備方法和HIT太陽(yáng)能電池
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910576098.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112234106A | 公開（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112234106A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-15 |
| 分類號(hào) | H01L31/0216(2014.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳孟杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 德運(yùn)創(chuàng)鑫（北京）科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 地址 | 610200四川省成都市自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)空港四路2002號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開提供一種金屬TCO疊層薄膜，用于HIT太陽(yáng)能電池，包括：TCO基底層，以及依次設(shè)置在TCO基底層上的非晶TCO浸潤(rùn)層、金屬膜層和TCO面層；其中非晶TCO浸潤(rùn)層的厚度小于等于10nm，金屬膜層的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，金屬TCO疊層薄膜的總厚度小于等于150nm，通過提供包括非晶TCO浸潤(rùn)層、使金屬膜層的在較薄厚度情況下連續(xù)生長(zhǎng)，降低了金屬膜層的粗糙度，使TCO面層、金屬膜層和非晶TCO浸潤(rùn)層之間由于高折射率對(duì)比導(dǎo)致表面等離子體激元高效耦合，形成表面等離子體產(chǎn)生共振效應(yīng)，降低了TCO面層、非晶TCO浸潤(rùn)層和TCO基底層對(duì)光的散射和對(duì)光子的吸收，進(jìn)而提高了金屬TCO疊層薄膜的光譜透過率，提高了HIT電池的電學(xué)性能。?? |
