工藝設(shè)備維護(hù)方法、系統(tǒng)及工藝設(shè)備維護(hù)控制裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811133918.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109358069B 公開（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109358069B 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) G01N21/94（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 德運(yùn)創(chuàng)鑫（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟德棟
地址 101102 北京市通州區(qū)中關(guān)村科技園區(qū)通州園金橋科技產(chǎn)業(yè)基地環(huán)科中路17號(hào)26幢1至3層102-LQ307
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N工藝設(shè)備維護(hù)方法、系統(tǒng)及工藝設(shè)備維護(hù)控制裝置。所述工藝設(shè)備維護(hù)方法包括控制器獲取通過設(shè)備觀察窗的光通量數(shù)值。所述光通量數(shù)值由設(shè)置于設(shè)備的外部，并且與所述設(shè)備觀察窗正對(duì)設(shè)置的傳感器獲取。若所述光通量數(shù)值小于所述光通量設(shè)備維護(hù)閾值，則所述控制器發(fā)出所述設(shè)備觀察窗待清理的控制指令。本申請(qǐng)的所述工藝設(shè)備維護(hù)方法應(yīng)用在真空鍍膜設(shè)備中，可以實(shí)時(shí)獲取所述設(shè)備觀察窗的光通量數(shù)值，通過所述設(shè)備觀察窗的光通量的下降情況來監(jiān)控所述設(shè)備觀察窗是否需要清理，檢測結(jié)果更準(zhǔn)確，從而有效避免對(duì)真空腔室的破空檢測，提高了工藝設(shè)備中產(chǎn)品的良率，延長了設(shè)備運(yùn)行時(shí)間。