一種異質(zhì)結(jié)太陽能電池降低串聯(lián)電阻的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510872214.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106816494A 公開（公告）日 2017-06-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN106816494A 申請(qǐng)公布日 2017-06-09
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;H01L31/072(2012.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃輝明;羅騫;宋廣華;陳文平;郭海龍;陳松洲;劉泉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鈞石（中國）能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種異質(zhì)結(jié)太陽能電池降低串聯(lián)電阻的方法，包括步驟如下：在n型硅片一面沉積本征非晶硅層及n型非晶硅層，另一面沉積本征非晶硅層及p型非晶硅層；在非晶硅層表面沉積透明導(dǎo)電氧化物薄膜；在透明導(dǎo)電氧化物薄膜層表面形成金屬柵線；其中，所述方法還包括在沉積非晶硅層的表面或透明導(dǎo)電氧化物薄膜表面進(jìn)行等離子處理。本發(fā)明消除非晶硅層及透明導(dǎo)電氧化物薄膜層表面的吸附層或氧化層，降低界面勢(shì)壘造成的接觸電阻，從而提高電池的填充因子及轉(zhuǎn)換效率，能夠提升異質(zhì)結(jié)太陽能產(chǎn)品的性能，降低單位生產(chǎn)成本。