一種硅基異質(zhì)結(jié)電池片及其TiNx阻擋層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510442598.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106356418B 公開（公告）日 2018-05-04
申請公布號 CN106356418B 申請公布日 2018-05-04
分類號 H01L31/072;H01L31/028;H01L31/20 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃輝明;宋廣華;羅騫 申請（專利權）人 鈞石（中國）能源有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基異質(zhì)結(jié)電池片及其TiNx阻擋層的制備方法，包括：在N型硅襯底正面沉積本征非晶硅層及P型非晶硅薄膜層，反面沉積本征非晶硅層及N型非晶硅薄膜層的硅片；在所述P型非晶硅薄膜層及N型非晶硅薄膜層上沉積透明導電氧化物薄膜；在所述透明導電氧化物薄膜采用低溫磁控濺射法沉積TiNx阻擋層。本發(fā)明增加了Cu與透明導電氧化物薄膜層的附著力，有利于后續(xù)異質(zhì)結(jié)太陽能電池的封裝，還可以有效的阻擋銅的擴散，非電極柵線區(qū)域的TiNx阻擋層易于被溶液腐蝕，且TiNx阻擋層電阻率低、厚度易控制。