一種制備太陽能電池金屬柵線中錫層的保護方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510731381.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106653935B 公開（公告）日 2019-02-19
申請公布號 CN106653935B 申請公布日 2019-02-19
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尤宇文;宋廣華 申請（專利權(quán)）人 鈞石（中國）能源有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備太陽能電池金屬柵線中錫層的保護方法，包括：在n型硅襯底一面沉積本征非晶硅層及n型非晶硅層，另一面沉積本征非晶硅層及p型非晶硅層，并在n型非晶硅層和p型非晶硅層上沉積透明導(dǎo)電氧化物層，在所述透明導(dǎo)電氧化物層上沉積阻擋層；在所述阻擋層上沉積種子層；在種子層上覆光阻材料層，將光阻材料層經(jīng)過曝光顯影后形成金屬柵線圖案并暴露出種子層；所述錫層的保護方法還包括步驟：在暴露出的種子層表面制作導(dǎo)電柵線疊層和助焊層，然后在助焊層上制作一層保護層，最后將光阻材料層去除，再用化學(xué)腐蝕液去除其覆蓋位置的種子層、阻擋層以及保護層暴露出電池表面和助焊層。