一種制備HIT太陽(yáng)能電池導(dǎo)電柵線的撕膜方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610149484.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107204387B 公開(kāi)（公告）日 2019-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN107204387B 申請(qǐng)公布日 2019-07-05
分類號(hào) H01L31/18（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪鵬玉; 王樹(shù)林; 游文誠(chéng); 李德輝; 張明全 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鈞石（中國(guó)）能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種制備HIT太陽(yáng)能電池導(dǎo)電柵線的撕膜方法，包括如下步驟：在硅片的上表面和下表面貼上一層感光膜，感光膜上設(shè)有保護(hù)膜；感光膜上與硅片接觸的部分為曝光區(qū)，在曝光區(qū)向外延伸設(shè)一段緩沖區(qū)，其余為非緩沖區(qū)；將與硅片尺寸相對(duì)應(yīng)區(qū)域的感光膜的曝光區(qū)和非緩沖區(qū)進(jìn)行曝光；裁切掉緩沖區(qū)范圍之外的一段區(qū)域；撕掉感光膜表面上的保護(hù)膜。本發(fā)明曝光后的感光膜韌性變小，且曝光后的感光膜與保護(hù)膜之間的粘附力也變小，有利于撕膜，保護(hù)膜很容易撕開(kāi)，緩沖區(qū)未曝光區(qū)域感光膜韌性比較好，不易被撕裂，使得曝光的感光膜的刀口裁切處更容易撕膜且不會(huì)因?yàn)椴们锌诘匿忼X狀產(chǎn)生裂縫而延伸至硅片表面，不會(huì)對(duì)曝光圖形產(chǎn)生影響。