一種太陽能電池金屬柵線制備過程中去除掩膜層的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510872715.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106816498A 公開（公告）日 2017-06-09
申請公布號 CN106816498A 申請公布日 2017-06-09
分類號 H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尤宇文;宋廣華;羅騫 申請（專利權(quán)）人 鈞石（中國）能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能電池金屬柵線制備過程中去除掩膜層的方法，包括步驟如下：在n型硅襯底一面沉積本征非晶硅層及n型非晶硅層，另一面沉積本征非晶硅層及p型非晶硅層，并在n型非晶硅層和p型非晶硅層上沉積透明導(dǎo)電氧化物薄膜，在所述透明導(dǎo)電氧化物層上沉積阻擋層；在所述阻擋層上沉積種子層；在種子層上覆一層掩膜層，將掩膜層經(jīng)過曝光顯影后形成金屬柵線圖案；采用電鍍方式，對圖案區(qū)域進(jìn)行電鍍銅、電鍍錫，形成金屬柵線；通過工裝攜帶電池片，進(jìn)入去膜室，去除柵線外的掩膜層，接著進(jìn)入蝕刻室，腐蝕去除其覆蓋位置的種子層和阻擋層，暴露出電池表面。