一種制備HIT太陽能電池導(dǎo)電柵線的撕膜方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610149484.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107204387A 公開（公告）日 2017-09-26
申請公布號 CN107204387A 申請公布日 2017-09-26
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 倪鵬玉;王樹林;游文誠;李德輝;張明全 申請（專利權(quán)）人 鈞石（中國）能源有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 362000 福建省泉州市鯉城區(qū)常泰街道仙塘社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備HIT太陽能電池導(dǎo)電柵線的撕膜方法，包括如下步驟：在硅片的上表面和下表面貼上一層感光膜，感光膜上設(shè)有保護膜；感光膜上與硅片接觸的部分為曝光區(qū)，在曝光區(qū)向外延伸設(shè)一段緩沖區(qū)，其余為非緩沖區(qū)；將與硅片尺寸相對應(yīng)區(qū)域的感光膜的曝光區(qū)和非緩沖區(qū)進行曝光；裁切掉緩沖區(qū)范圍之外的一段區(qū)域；撕掉感光膜表面上的保護膜。本發(fā)明曝光后的感光膜韌性變小，且曝光后的感光膜與保護膜之間的粘附力也變小，有利于撕膜，保護膜很容易撕開，緩沖區(qū)未曝光區(qū)域感光膜韌性比較好，不易被撕裂，使得曝光的感光膜的刀口裁切處更容易撕膜且不會因為裁切口的鋸齒狀產(chǎn)生裂縫而延伸至硅片表面，不會對曝光圖形產(chǎn)生影響。