基于納秒?皮秒?飛秒激光復(fù)合技術(shù)的平板式氧傳感器制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510356450.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104959600B 公開（公告）日 2017-05-10
申請公布號 CN104959600B 申請公布日 2017-05-10
分類號 B22F3/105(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 劉勝;曹祥東;付興銘;劉亦杰;鄭懷;楊軍;曹鋼;吳登峰 申請（專利權(quán)）人 武漢虹拓新技術(shù)有限責任公司
代理機構(gòu) 武漢科皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 胡艷
地址 430072 湖北省武漢市武昌區(qū)珞珈山武漢大學
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于飛秒激光復(fù)合技術(shù)的平板式氧傳感器制備方法，包括：首先，根據(jù)氧傳感器各層的精度要求，選擇納秒、皮秒或飛秒激光作為原始激光進行掃描燒結(jié)熔化。然后，根據(jù)實時監(jiān)測反饋選擇對特定區(qū)域使用皮秒或飛秒激光進行精加工。根據(jù)氧傳感器加工的實際需要，實時監(jiān)測可以為尺寸檢測、晶相結(jié)構(gòu)檢測、表面形貌檢測、成分檢測等。本發(fā)明可實現(xiàn)更精確的尺寸控制和電阻阻值控制，工藝更簡單且不需要后續(xù)修阻，可以達到不做補償即可使用的精度，省去了常規(guī)3D打印完成后所需的清理、拋光等工序，有效解決了吹粉、殘余應(yīng)力高、強度低等問題。同時，還具有優(yōu)異的一致性。