一種用于芯片搬運的低慣量滑臺模組

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110252685.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112951752A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112951752A 申請公布日 2021-06-11
分類號 H01L21/68;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱飛;許濱;吳海濤 申請（專利權）人 南通辰同智能科技有限公司
代理機構 北京和信華成知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 席卷
地址 226500 江蘇省南通市如皋市如城街道惠政西路555號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于芯片搬運的低慣量滑臺模組，其結構包括步進電機、滑槽以及滑塊，滑塊滑動設置在滑槽的內部，滑塊上螺紋連接有絲桿，絲桿位于滑槽的內部且兩端螺紋連接在滑槽的端部，步進電機的輸出端和絲桿的一端固定連接且設置在滑槽的一端，絲桿上分布有若干節(jié)點槽，滑塊上設有和絲桿螺紋連接的螺紋槽，節(jié)點槽上設有自由轉動的轉動件，轉動件和螺紋槽的抵觸面上始終存在嵌入螺紋槽內部螺紋的導向螺紋，本發(fā)明確保了模塊芯片的運行移動具有更為穩(wěn)定的速度以及較小的位移偏差，從而對后續(xù)模塊芯片的定位放置起到有效的促進作用。