電磁透鏡組中帶電粒子束的控制方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910339992.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111863572A | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111863572A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | H01J37/141(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張勁;陳炯;夏世偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司;上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司 |
| 地址 | 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)牛頓路200號(hào)7號(hào)樓單元1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種電磁透鏡組中帶電粒子束的控制方法及系統(tǒng)。所述控制方法包括：獲取多組電磁透鏡組的工作數(shù)據(jù)和多組粒子束的質(zhì)量數(shù)據(jù)；基于多目標(biāo)優(yōu)化模型對(duì)多組工作數(shù)據(jù)和多組質(zhì)量數(shù)據(jù)執(zhí)行迭代優(yōu)化，得到最優(yōu)解集；所述多目標(biāo)優(yōu)化模型的決策變量包括：所述工作數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)參數(shù)和/或所述質(zhì)量數(shù)據(jù)中的至少一個(gè)參數(shù)；所述多目標(biāo)優(yōu)化模型的優(yōu)化目標(biāo)包括所述粒子束的運(yùn)動(dòng)參數(shù)；根據(jù)所述最優(yōu)解集控制所述電磁透鏡組。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)透鏡組的多個(gè)工作參數(shù)、粒子束的質(zhì)量參數(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)帶電粒子束的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的控制，不依賴于電極的具體組態(tài)，適用于任意組態(tài)的電極的透鏡組，普適性好，且能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。?? |
