離子源引出電極系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010147462.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113363127A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113363127A 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01J37/08;H01J37/317 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 洪俊華;陳炯 申請（專利權）人 上海凱世通半導體股份有限公司
代理機構 上海弼興律師事務所 代理人 薛琦;張冉
地址 201306 上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離子源引出電極系統(tǒng)，包括等離子體電極和引出電極組，所述引出電機組在束流前進方向上依次包括第一地電極、抑制電極和第二地電極，其中，第一地電極和第二地電極接地，所述抑制電極接負壓，所述等離子體電極接正壓，所述等離子體電極和第一地電極之間的電場為引出電場，所述引出電場用于控制等離子體引出界面的曲率和形狀。引入另一個地電極作為屏蔽地電極，用于電場屏蔽隔離等離子體電極和抑制電極，穩(wěn)定引出電場和電場透鏡電場，控制等離子體引出界面曲率和形狀，從而來控制束流的初始形狀，由此得到理想的束流形態(tài)。