硅片輸運裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020286883.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211529927U 公開（公告）日 2020-09-18
申請公布號 CN211529927U 申請公布日 2020-09-18
分類號 H01L21/677(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 夏世偉;陳炯;洪俊華;杰夫·貝克;張長勇;王占柱 申請（專利權(quán)）人 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司;上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號207室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片輸運裝置，包括兩個預(yù)抽真空裝置和真空輸運裝置，真空輸運裝置用于在真空狀態(tài)下在預(yù)抽真空裝置和工藝處理裝置之間傳輸硅片，真空輸運裝置包括：真空輸運腔室、兩個搬運機(jī)器人和中轉(zhuǎn)臺。兩個搬運機(jī)器人中均有兩個可獨立動作的機(jī)械手，通過兩個機(jī)械手的有序配合，使用一個機(jī)器人可對同一工位執(zhí)行硅片交換。當(dāng)一個搬運機(jī)器人在預(yù)抽真空裝置和過渡中轉(zhuǎn)臺之間傳輸硅片時，另一個搬運機(jī)器人在中轉(zhuǎn)臺和工藝處理裝置之間傳輸硅片。由于使用了具有兩個可以獨立動作的機(jī)械手的機(jī)器人對同一個工位進(jìn)行硅片交換的技術(shù)，結(jié)合以具有多自由度的兩個機(jī)械手，使得硅片傳輸可以高速進(jìn)行，提高整體的產(chǎn)能。??