離子束能量控制裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910340903.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111863576A | 公開（公告）日 | 2020-10-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111863576A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-30 |
| 分類號(hào) | H01J37/304(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張勁;陳炯;夏世偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司;上海臨港凱世通半導(dǎo)體有限公司 |
| 地址 | 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)牛頓路200號(hào)7號(hào)樓單元1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種離子束能量控制裝置。其包括：入口端和出口端，所述入口端供離子束射入，所述出口端供離子束射出；若干電極對(duì)，每個(gè)電極對(duì)分別包括相對(duì)設(shè)置的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極均為棒狀，所述第一電極和所述第二電極之間的空間供離子束通過；所述若干電極對(duì)中至少一電極對(duì)形成第一電極群，施加至所述第一電極群的電壓使得離子束向第一方向偏轉(zhuǎn)；所述若干電極對(duì)中至少一電極對(duì)形成第二電極群，施加至所述第二電極群的電壓使得離子束向第二方向偏轉(zhuǎn)，所述第二方向與所述第一方向反向。本發(fā)明的離子束能量控制裝置在電極形狀、電極布局、束流調(diào)節(jié)等方面均具有較多優(yōu)點(diǎn)。?? |
