太陽能電池上鍍膜的硅片載板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022778197.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214193440U 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214193440U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) C23C14/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蔡新興;孫鐵囤;姚偉忠;楊宇城 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州億晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李楠
地址 213000江蘇省常州市金壇市堯塘鎮(zhèn)金武路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種太陽能電池上鍍膜的硅片載板，包括石墨板和設(shè)置在石墨板頂部的載板，載板的頂部開設(shè)有用于放置硅片的第一凹槽，第一凹槽的槽底開設(shè)有貫通槽底上下端面的氣孔；所述石墨板的頂部開設(shè)有第二凹槽，硅片的徑向尺寸＞第二凹槽的徑向尺寸＞氣孔的徑向尺寸，所述第二凹槽僅通過氣孔與外部連通，通過本套裝置，將帶氣孔的載板放置在設(shè)有第二凹槽的石墨板頂部，石墨板的第二凹槽內(nèi)存在的空氣不影響硅片真空吸附，同時(shí)在出料腔回氣時(shí)粉塵完全接觸該石墨板不會(huì)污染到現(xiàn)有載板。