自動(dòng)測方阻設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710994286.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107591342B 公開（公告）日 2020-03-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN107591342B 申請(qǐng)公布日 2020-03-20
分類號(hào) H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁華斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州億晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常州億晶光電科技有限公司
地址 213000 江蘇省常州市金壇市堯塘鎮(zhèn)金武路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種自動(dòng)測方阻設(shè)備，通過控制部分控制上料區(qū)將裝滿硅片的花籃輸送至下片區(qū)，下片區(qū)將花籃內(nèi)的硅片逐一卸下并輸送至第一緩存區(qū)，第一緩存區(qū)將硅片輸送至校正區(qū)，校正區(qū)將硅片校正后輸送至測試區(qū)進(jìn)行方阻測試，通過方阻測試完成的硅片被輸送至第二緩存區(qū)，通過控制部分控制，跟設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比后通過分片區(qū)分片后，將超過設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)上限和超過設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)下限的硅片分出，僅將方阻測試結(jié)果在正常范圍內(nèi)的硅片輸送至上片區(qū)，并通過上片區(qū)將硅片放置在花籃上，最終將裝滿硅片的花籃通過下料區(qū)輸送出去；有效避免了人工取片與測片帶來的污染、破片與劃傷的問題；自動(dòng)化測試硅片方阻，大大提高了測試效率，可完成批量檢測。