高效電池退火工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810622327.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108878289B 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN108878289B 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) H01L21/324;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁華斌;王晨;符亮;張凱勝;姚偉忠;孫鐵囤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州億晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱麗莎
地址 213000 江蘇省常州市金壇區(qū)堯塘鎮(zhèn)金武路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高效電池退火工藝，通過(guò)對(duì)背鈍化后的硅片進(jìn)行升溫烘干，通過(guò)負(fù)壓通氣，在步驟4)至6)中一直保持負(fù)壓狀態(tài)，將水汽徹底去除干凈；通過(guò)梯度降溫的方式，能夠?qū)⒐杵w內(nèi)的雜質(zhì)更充分地析出，減少缺陷與復(fù)合；本發(fā)明和不使用退火工藝對(duì)比，硅片背面無(wú)水汽殘留，開壓平均提高了11mV,電流平均提高了42mA，轉(zhuǎn)換效率提高了0.55％。