一種光刻機的刻板離心真空吸附裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821740488.1 申請日 -
公開（公告）號 CN208796022U 公開（公告）日 2019-04-26
申請公布號 CN208796022U 申請公布日 2019-04-26
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明; 鄭天祥; 黃文斌; 鄧超略; 高尊虎 申請（專利權(quán)）人 深圳市印之明科技有限公司
代理機構(gòu) 東莞市神州眾達專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市印之明科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道航城大道固戍工業(yè)區(qū)華創(chuàng)達科技園C座1樓西1區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光刻機的刻板離心真空吸附裝置，包括滾筒，所述滾筒的中心軸線設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述滾筒外表面設(shè)有氣槽，還包括彈性氣罩、固定桿、受力球，所述滾筒為中空結(jié)構(gòu)，所述彈性氣罩設(shè)于滾筒內(nèi)部，且彈性氣罩與轉(zhuǎn)軸密封連接，所述固定桿穿過彈性氣罩，且固定桿的一端與氣槽固定連接，固定桿另一端與轉(zhuǎn)軸固定連接，所述受力球滑動套設(shè)于固定桿表面并位于彈性氣罩內(nèi)，所述固定桿內(nèi)設(shè)有氣管且固定桿表面設(shè)有氣孔，所述氣孔位于彈性氣罩內(nèi)，所述氣孔與氣管連通，所述氣管與氣槽連通，所述氣管的一端與氣槽連通并通過氣孔與氣罩的內(nèi)腔連通，結(jié)構(gòu)簡單，高效又節(jié)能，可有效降低使用成本。