一種光刻機(jī)光點(diǎn)錯(cuò)位掃描時(shí)序調(diào)整系統(tǒng)及其調(diào)整方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811156719.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110967929A 公開(kāi)（公告）日 2020-04-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN110967929A 申請(qǐng)公布日 2020-04-07
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;鄭天祥;鄧超略;高尊虎;黃文斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市印之明科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市印之明科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道航城大道固戍工業(yè)區(qū)華創(chuàng)達(dá)科技園C座1樓西1區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 在本發(fā)明提供一種光刻機(jī)光點(diǎn)錯(cuò)位掃描時(shí)序調(diào)整系統(tǒng)及其調(diào)整方法，MCU按每一條可編程延遲線所處的電路位置和通過(guò)的相應(yīng)光點(diǎn)信號(hào)，可獲取每一條可編程延遲線的延時(shí)需求；并下達(dá)對(duì)應(yīng)的控制指令到每一條可編程延遲線，每一條可編程延遲線根據(jù)MCU的控制指令可以適時(shí)地改變延遲參數(shù)，既可滿足光刻的邏輯時(shí)序要求，相對(duì)傳統(tǒng)技術(shù)采用FPGA光點(diǎn)錯(cuò)位時(shí)序調(diào)整，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便，操作簡(jiǎn)單而且成本更低。