一種光刻機滾筒的智能配重調(diào)整系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811223352.8 申請日 -
公開（公告）號 CN111077738A 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN111077738A 申請公布日 2020-04-28
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王澤明;鄭天祥;黃文斌;鄧超略;高尊虎 申請（專利權(quán)）人 深圳市印之明科技有限公司
代理機構(gòu) 東莞市神州眾達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳市印之明科技有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道航城大道固戍工業(yè)區(qū)華創(chuàng)達(dá)科技園C座1樓西1區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種光刻機滾筒的智能配重調(diào)整系統(tǒng)，通過在滑塊內(nèi)設(shè)PCB板、驅(qū)動組件，所述PCB板上設(shè)有MCU、振動傳感器；當(dāng)振動傳感器檢測到振動時，將振動信號傳遞給MCU，MCU經(jīng)過處理，并控制驅(qū)動組件作出對應(yīng)運動，在此過程中，振動傳感器不停地把振動信號傳遞給MCU,MCU根據(jù)振動是增強還是減弱來確定滑塊的行動方向，直到找到振動最弱的位置，這就是最佳配重位置，然后控制驅(qū)動組件停止，讓滑塊停留在這個位置，這就完成了滾筒配重的自動調(diào)節(jié)。相對于現(xiàn)技術(shù)，本申請中的滑塊可以獨立驅(qū)動，無需外力加入，隨時隨地實現(xiàn)配重調(diào)整，滿足光刻機的實時配重調(diào)整需求，極大地提高了配重調(diào)整的準(zhǔn)確性。