一種光刻機(jī)的滾筒刻度編碼系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821731960.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN208796021U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-04-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208796021U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-04-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I; G01D5/353（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王澤明; 鄭天祥; 黃文斌; 鄧超略; 高尊虎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 東莞市神州眾達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道航城大道固戍工業(yè)區(qū)華創(chuàng)達(dá)科技園C座1樓西1區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)的滾筒刻度編碼系統(tǒng)，讓滾筒直接承載刻度尺，并在刻度尺上設(shè)有若干個(gè)沿滾筒長(zhǎng)度方向延伸的刻度線，用來(lái)替代絕對(duì)編碼器光碼盤(pán)上的刻線，如此刻線所在的空間比在光碼盤(pán)上大的多了，因此可以輕松做出滿足光刻機(jī)圖像解析度的碼盤(pán)來(lái)，而且滾筒也變成了絕對(duì)編碼器的一部分，這個(gè)方案的實(shí)質(zhì)就是把絕對(duì)編碼器和滾筒做到一起，二者合二為一，滿足光刻機(jī)的高解析度定位要求。同時(shí)每一條刻度線都設(shè)有若干個(gè)光點(diǎn)，同時(shí)利用若干個(gè)光點(diǎn)中反光點(diǎn)以及不反光點(diǎn)的排列順序與刻度讀取器的配合，可以構(gòu)成一套反光編碼，制造工藝容易成本低，充分利用了材料，降低了成本，并提高了性能。 |
