超高反?；魻栰`敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201510052492.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN104600193A | 公開（公告）日 | 2017-07-04 |
| 申請公布號 | CN104600193A | 申請公布日 | 2017-07-04 |
| 分類號 | H01L43/10;H01L43/06;H01L43/14 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 于廣華;陳喜;于泠然;張靜言 | 申請（專利權）人 | 山東麥格智芯機電科技有限公司 |
| 代理機構 | 北京市廣友專利事務所有限責任公司 | 代理人 | 張仲波 |
| 地址 | 100083 北京市海淀區(qū)學院路30號30棟508室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種超高反?；魻栰`敏度薄膜材料、制備方法、磁傳感器及元件，所述超高反?；魻栰`敏度薄膜材料包括：第一Ta層，所述第一Ta層上方設置有CoxFey層，所述CoxFey層上方設置有金屬氧化層，所述金屬氧化層上方設置有第二Ta層，其中，0＜x＜100，x為整數(shù)，0＜y＜100，y為整數(shù)。本發(fā)明通過設置第一Ta層、CoxFey層、金屬氧化層和第二Ta層，易于界面軌道雜化調控各向異性場；又由于CoxFey層中的Co和Fe原子比例可調，可進一步調控各向異性場，從而有效提高反?；魻栰`敏度。 |
