一種半導(dǎo)體設(shè)備用過氣板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720407388.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207097782U 公開（公告）日 2018-03-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN207097782U 申請(qǐng)公布日 2018-03-13
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭隆梁 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海濟(jì)順精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馮子玲
地址 201600 上海市松江區(qū)小昆山鎮(zhèn)中德路860號(hào)7幢-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備用過氣板，包括矩形板體，所述矩形板體上設(shè)有安裝孔、第一安裝槽、第二安裝槽和防護(hù)槽，所述第一安裝槽和所述第二安裝槽相互間隔地成排均勻分布于所述矩形板體上，所述防護(hù)槽兩個(gè)一組分別對(duì)稱設(shè)于所述第一安裝槽的兩側(cè)和所述第二安裝槽的兩側(cè)且位于所述矩形板體的單面上，所述第一安裝槽和所述第二安裝槽分別對(duì)稱位于所述矩形板體的雙面上，所述安裝孔均勻分布于所述矩形板體的相鄰兩側(cè)邊和中部。與已有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，提高抗震性能，拆裝方便。