一種聲波諧振器的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510282093.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104917476A 公開(kāi)（公告）日 2015-09-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN104917476A 申請(qǐng)公布日 2015-09-16
分類號(hào) H03H3/02(2006.01)I;H03H9/17(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 楊清華;歐毅;劉杰;賴亞明;吳光勝;陳慶;朱麗娜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 貴州漢天下科技（集團(tuán)）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 貴州中科漢天下電子有限公司
地址 556000 貴州省黔東南苗族侗族自治州凱里市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)甘塘路2號(hào)中盛茗園B棟3單元4層402號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種聲波諧振器的制造方法，該制造方法包括：提供基底；在所述基底的表面形成聲反射層或者在所述基底上形成聲反射層，其中，該聲反射層的材料是多孔性材料；在所述聲反射層上形成下電極層；在所述下電極層上形成壓電層；在所述壓電層上形成上電極層。本發(fā)明通過(guò)形成由多孔性材料所構(gòu)成的聲反射層，在保證聲波諧振器具有良好性能的同時(shí)有效地改善了聲波諧振器的制造工藝、簡(jiǎn)化了聲波諧振器的結(jié)構(gòu)、降低了聲波諧振器的制造成本以及大大地提高了聲波諧振器的成品率。