多晶硅鑄錠爐進(jìn)氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621330478.1 申請日 -
公開（公告）號 CN206467331U 公開（公告）日 2017-09-05
申請公布號 CN206467331U 申請公布日 2017-09-05
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 蔣興賢 申請（專利權(quán)）人 常州兆晶光能有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213100 江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西湖路150號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐，包括：爐體，爐體上設(shè)置有進(jìn)氣管，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫護(hù)罩，保溫護(hù)罩內(nèi)設(shè)置有坩堝、對應(yīng)坩堝的石墨護(hù)罩、對應(yīng)石墨護(hù)罩的加熱器及散熱平臺；進(jìn)氣管的出口處設(shè)置有高純度耐高溫材質(zhì)制備的螺旋槳，通過進(jìn)氣管的高速保護(hù)氣氣流沖擊螺旋槳后使螺旋槳旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而使得進(jìn)入石墨護(hù)罩腔室內(nèi)的保護(hù)氣形成有效的螺旋流動，并進(jìn)一步帶動硅液流動而有效排出硅液內(nèi)部雜質(zhì)，廢氣通過設(shè)置在石墨護(hù)罩上的排氣孔導(dǎo)出至石墨護(hù)罩的腔室外部，從而有效提高了硅液中雜質(zhì)的排出效率，確保了多晶硅的質(zhì)量。