用于多晶硅片的拋光裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201920563995.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210232592U | 公開（公告）日 | 2020-04-03 |
| 申請公布號 | CN210232592U | 申請公布日 | 2020-04-03 |
| 分類號 | B24B29/02(2006.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 蔣興賢 | 申請（專利權(quán)）人 | 常州兆晶光能有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213100江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西湖路150號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型的用于多晶硅片的拋光裝置，屬于拋光裝置領(lǐng)域，包括框架、固定在框架頂部的拋光組件、固定于框架底部的拋光盤、以及固定在框架頂部的噴灑組件；噴灑組件位于拋光組件的一側(cè)，拋光盤位于拋光組件的下方，且拋光盤與框架的底部可轉(zhuǎn)動連接；拋光組件包括固定在框架頂部內(nèi)側(cè)的液壓缸、設(shè)于液壓缸內(nèi)的推桿、位于推桿一側(cè)的活塞、第一驅(qū)動電機(jī)、以及拋光頭；推桿的一端與活塞固定連接；活塞遠(yuǎn)離的推桿的一端固定有固定塊，第一驅(qū)動電機(jī)固定在固定塊上，第一驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動軸與拋光頭連接。通過液壓缸、推桿、活塞、第一驅(qū)動電機(jī)和拋光頭的配合以及拋光盤的旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)對待拋光多晶硅片的拋光，可以提高拋光的穩(wěn)定性，進(jìn)而可以提高拋光的精度。?? |
