多晶硅鑄錠爐保護氣熱循環(huán)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621321603.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206467330U 公開（公告）日 2017-09-05
申請公布號 CN206467330U 申請公布日 2017-09-05
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 蔣興賢 申請（專利權(quán)）人 常州兆晶光能有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 213100 江蘇省常州市武進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西湖路150號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐保護氣熱循環(huán)系統(tǒng)，進氣管的出口處設(shè)置有螺旋槳，使得保護氣形成有效的螺旋流動并帶動硅液流動而有效排出雜質(zhì)，廢氣經(jīng)集氣后排出至熱交換器進行熱交換以預(yù)熱進入進氣管的保護氣后再進入吸收器吸收一氧化碳，凈化后的保護氣經(jīng)干燥后進入回收罐以重復(fù)使用，有效避免了一氧化碳?xì)怏w進入大氣而導(dǎo)致危害發(fā)生，且凈化后的保護氣可以重復(fù)回收使用而降低了使用成本，且熱交換器設(shè)置可以有效回收尾氣熱能并對進氣預(yù)熱以降低能耗。