一種CVD用陶瓷塊可拆卸式遮擋框架
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022395290.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213507188U | 公開（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213507188U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-22 |
| 分類號(hào) | C23C16/458（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 馮衛(wèi)東;蔡廣云;劉永基;余波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥微?？萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥超通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 饒曉玲 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站區(qū)九頂山路以東、珠城路以南 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種CVD用陶瓷塊可拆卸式遮擋框架，包括有遮擋框架本體、基座本體和間隙，遮擋框架本體在朝向間隙的表面設(shè)有凹槽，其內(nèi)分別設(shè)置有陶瓷塊和L形鎖緊塊，L形鎖緊塊的二個(gè)內(nèi)側(cè)面分別對(duì)應(yīng)貼靠在陶瓷塊的相鄰二個(gè)外側(cè)面上，遮擋框架本體的外側(cè)面上設(shè)有向內(nèi)延伸且與凹槽相通的若干個(gè)橫向螺孔，并分別螺合有螺栓；擰緊每個(gè)螺孔內(nèi)的螺栓，螺栓的前端頂壓L形鎖緊塊的一個(gè)外側(cè)面，將陶瓷塊鎖緊在凹槽中。本實(shí)用新型在維修時(shí)拆除陶瓷塊，使得包括凹槽所在區(qū)域的遮擋框架本體能夠同步被打磨、腐蝕，在重新安裝陶瓷塊后，能夠保持間隙的高度不發(fā)生變化，不影響遮擋框架與基座的正常裝配，能夠抑制尖端放電現(xiàn)象的產(chǎn)生。 |
