一種適用于對(duì)上部電極和擴(kuò)散器進(jìn)行表面處理的升降裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022370347.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213498489U 公開(公告)日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN213498489U 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) B24B37/00(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B47/20(2006.01)I 分類 磨削;拋光;
發(fā)明人 劉曉剛;劉超;許杰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 合肥微??萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 合肥超通知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 饒曉玲
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)九頂山路以東、珠城路以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種適用于對(duì)上部電極和擴(kuò)散器進(jìn)行表面處理的升降裝置,包括有處理池、分別設(shè)置于處理池池口兩側(cè)的支架、橫桿以及上部掛裝在橫桿上、下部垂入處理池內(nèi)的工件,支架的底部安裝有呈豎向設(shè)置的氣缸,氣缸的活塞桿的端部固定連接有頂桿,頂桿的頂端固定連接有定位座,定位座上設(shè)有定位槽,支架的頂部分別安裝有對(duì)頂桿進(jìn)行導(dǎo)向的第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和對(duì)定位座進(jìn)行導(dǎo)向的第二導(dǎo)向機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型使得工件在進(jìn)行表面處理的過程中保持合理的上下運(yùn)動(dòng),能夠及時(shí)排出氣泡,提高了處理效果;并使得反應(yīng)物能夠快速的從工件的表面剝離,保證了處理的徹底性,同時(shí)也保證了反應(yīng)的均勻性和適度性,從而保證了工件的使用壽命。