一種擴散器框架安裝螺栓的遮蔽結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023280625.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214146218U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214146218U 申請公布日 2021-09-07
分類號 F16B41/00（2006.01）I;F16B37/14（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 馮衛(wèi)東;蔡廣云;王超群;劉永基 申請（專利權(quán)）人 合肥微?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 合肥超通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 饒曉玲
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)九頂山路以東、珠城路以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種擴散器框架安裝螺栓的遮蔽結(jié)構(gòu)，包括有擴散器框架本體，沿擴散器框架本體的上表面的四周設(shè)有環(huán)形開槽，擴散器框架本體上分別設(shè)有貫穿其底面與環(huán)形開槽的底面的若干個螺孔，若干個螺孔內(nèi)分別螺合有用于連接擴散器框架本體與擴散器的螺栓；環(huán)形開槽內(nèi)分別插裝有若干個擋條，若干個擋條的底面分別對應(yīng)與螺栓的頂端相抵觸，壓緊并遮蔽螺栓。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，在擴散器框架上設(shè)置環(huán)形開槽，采用螺栓將擴散器框架與擴散器連接完成后，將若干個擋條插裝到環(huán)形開槽內(nèi)，壓緊螺栓并將其完全遮蔽，使其不會暴露在CVD基板沉積腔室中，避免了螺栓發(fā)生脫落和螺栓的端部發(fā)生電弧擊穿，從而保證了CVD設(shè)備的正常運行。